洗浄装置、散布装置、検査装置、イオナイザー等、装置メーカーの株式会社ゼビオス
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 散布装置とは、各種液晶パネルのセル    当社の洗浄ツールは、弊社独自に設計
 ギャップを形成する為に、定められた    製造した高圧ポンプユニットから発生
 個数のスペーサを基板上に均一に散布    する3〜7MPaの高圧水に、超高速
 する装置です。従来の散布装置の経験    閉開機能を有するスプレー部(DP−
 と技術・・・      続きはコチラ    GUN)に・・・    続きはコチラ
     
 
 ラインイオナイザーとは、線状電極方    当社の検査装置は、お客様のニーズに
 式で切れ目のない直線の放電を行い、    合わせた構成にカスタマイズしており
 プラスとマイナスのイオンを交互に発    ます。対象ワークはウェハー・ガラス・
 生させて静電気除去を行うバーです。    マスク等で、検出物は異物・欠陥・傷・
 本製品は・・・     続きはコチラ    パターン・・・     続きはコチラ
     
 
 
 
 
 
 
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